大家好，今天小編關注到一個比較有意思的話題，就是關于地面保護膜厚度怎么量的問題，于是小編就整理了1個相關介紹地面保護膜厚度怎么量的解答，讓我們一起看看吧。

怎樣測量薄膜厚度？

X射線反射法（XRR）是測量薄膜厚度，分析多層膜結構的常用方法。

XRR適用于測量1-200nm厚度的薄膜，精度可以達到1-3埃。除了可以測量薄膜的厚度外，X射線反射法還可以確定薄膜的界面粗糙度。

X射線反射法測薄膜厚度使用2θ/ω掃描（如圖），入射角ω很小，散射角2θ設置為大約1°，掃描的時候，ω=θ從0°開始掃描到10°左右，通過CCD我們能夠得到光子數（count）和角度（θ）的關系。

當入射角ω很小的時候，相當于是鏡面掠射，反射率差不多是1，隨著角度的增大，反射率迅速降低，由于薄膜的存在，X射線在薄膜的上下界面分別發生反射，然后疊加，干涉效應會讓我們觀察到光子數和入射角之間有周期性的漲落（條紋），觀察到的條紋數越多，我們能夠計算出的薄膜的厚度也越精確。

到此，以上就是小編對于地面保護膜厚度怎么量的問題就介紹到這了，希望介紹關于地面保護膜厚度怎么量的1點解答對大家有用。